真空計一覧

特長

PVD-9500-5

当社の真空計シリーズは、大気圧から高真空領域まで(101kPa～1×10-7Pa)をカバーする豊富な機種をラインアップしており、また各アイテムごとにデジタルタイプ・アナログタイプを用意し、仕様、環境、使い勝手などに合った最適の機種を選択いただけます。

真空計一覧

品名 型式 測定範囲 表示方式
ピラニ真空計 PG-D5A 1×105Pa～1.3×10-1Pa デジタル
PG-20B 6.0×103Pa～1.4×10-1Pa
PG-2BM 2×103Pa～2×10-1Pa アナログ
PG-3FM 2×103Pa～2×10-1Pa
電離真空計 IG-D7A 9.9×10-2Pa～1×10-7Pa デジタル
コールド・カソード・イオン・ゲージ CR-D8A 5.0×10-1Pa～1×10-6Pa デジタル
ペニング真空計（卓上型） CR-1N 8×10-1Pa～1×10-3Pa アナログ
絶対圧真空計 VGS-240 133.3kPa～0.1kPa デジタル

寸法表 単位：mm

型　　式 a b c d e f g h 図面
PG-D5A 144 96 220 90 140 92 - - PDF
PG-20B 96 96 120 90 92 92 - - PDF
PG-2BM 217 100 135 - - - - - PDF
PG-3FM 100 100 104 - φ92 φ92 80 80 PDF
IG-D7A 144 96 340 90 140 92 - - PDF
CR-D8A 144 96 220 90 140 92 - - PDF
CR-1N 185 120 185 - - - - - PDF
VGS-240 96 96 33 88 - - - - -

主な真空計の動作圧力範囲

主な真空計の動作圧力範囲

真空計の選び方

真空度測定と一口にいっても、大気圧に近いところもあれば超高真空もあり、とても一種類の真空計ではカバーしきれなくなっています。残留ガスの成分を考えてみても真空装置内の気体は様々です。そのうちで真空計に悪影響を与える代表的なものは、油蒸気などの有機物蒸気、酸素、水蒸気などです。低真空では空気が残留していることも多いのですが、中真空や高真空では油蒸気の割合が増してきます。また、凍結乾燥のように主として水蒸気を扱う真空装置も少なくありません。このように真空計が使用される条件は様々ですから、選定にあたっては測定圧力領域、対象ガスの他にも、以下のような各項目の確認が必要です。1. 測定をおこないたい圧力領域で使えるか、可測限界の起る原因を確認する。2. 測定対象に考えられる気体によって真空計が汚損、破損しないか。 3. 精度は充分にあるか。メーターは大きいか。原理的にも問題がないか。4. 真空計が気体の状態に影響を与えないか。測定対象の気体を熱分解したり、反応によって組成を変えたりすることはないか。5. 全圧測定ができるか。感度が気体の種類によって異ならないか。6. 連続指示か、電気的指示か。電気的出力が得られるか。7. 応答時間は短いか。8. 安定性、再現性、信頼性、寿命は十分か。9. 取付、操作、保守、管理は容易か。10. 市販品の有無、入手の難易、価格等。

真空度標準とトレーサビリティー

真空度校正装置RT-8SV型
PVD-9500-5

日本の真空度標準(1次標準) は、産業技術総合研究所に設置してある光波干渉式標準気圧計( 大気圧～102Pa、不確かさ±0.7Pa)、同電子技術総合研究所に設置してある標準マクラウド真空計(1.3～1.3×10-2Pa、不確かさ± 2％）が基準になっています。標準マクラウド真空計による校正は、日本真空協会から依頼された副標準電離真空計用球VS-1 について実施されており、この校正された真空計は2次標準( 使用圧力範囲2.7×10-1～1.3×10-4Pa、不確かさ±3％) と呼ばれ利用可能な最も信頼できる真空計です。通常はこれを標準として用い、他の実用真空計の校正に用います。校正法については、JISZ8750 に詳しく説明され、10-2Pa～10-7Pa 付近までの用途には、メーカーがVS-1を用いて校正したB-A真空計を市販しています。このような方法で感度を校正すれば、実際に用いる個々の真空計の感度は、国家1次標準までつながることになります。このような体系ができているとき、トレーサビリティーが確立されていると評価されます。