真空バルブ
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クランプ型真空弁<ATV/ATNV>シリーズ(SUS304)
ISO 規格の真空フランジを採用したベローズ式真空バルブです。クランプとセンターリングにより脱着は簡単、確実です。また、バルブボディー及び内部部品にはステンレス材を使用し耐食性に優れています。開閉方式として、手動式と、圧縮空気による自動式の2機種を用意しています。用途に合わせて選択してください。
ATV 手動式


型式 | A | B | C | L | D | E | F | OD |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ATV-16 | 54 | 41 | 139 | 158 | 60 | 43 | 57 | 30 |
ATV-25 | 52 | 38 | 132 | 152 | 60 | 43 | 57 | 40 |
ATV-40 | 60 | 61 | 165 | 197 | 60 | 54 | 76 | 55 |
ATV-50 | 85 | 78 | 203 | 249 | 60 | 63 | 88.5 | 75 |
ATNV 空圧作動式


型式 | A | B | C | L | D | E | F | OD |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ATNV-16 | 54 | 55 | 157 | 13 | 32 | 42.5 | 57 | 30 |
ATNV-25 | 53 | 50 | 151 | 13 | 32 | 42.5 | 57 | 40 |
ATNV-40 | 63 | 68 | 196 | 16 | 41 | 54 | 76 | 55 |
ATNV-50 | 86 | 89 | 261 | 20 | 54 | 63 | 88.5 | 75 |
*作動圧力: 0.5MPa
ベローズ式真空弁 <AV/SV> シリーズ
シャフトシールにベローシール方式を採用した真空バルブです。このため閉動作時でも、シャフトからのガス放出による一時的な圧力上昇が発生しません。
AV L型


型式 | A | B | C | D | φE | ![]() |
---|---|---|---|---|---|---|
AV-1/2 | 95 | 75 | 170 | 82 | 22 | 60 |
AV-1 | 100 | 80 | 180 | 85 | 34 | 60 |
フランジ型真空弁<FAV/NAV>シリーズ
JIS B2290 規格の真空フランジを採用し、バルブ本体はステンレス製です(一部軟鋼製もあります)。
手動開閉式と、圧縮空気による自動開閉式の2機種を用意しておりますので、用途により選択してください。
FAV 手動式


型式 | A | φB | φC | D | E | φF | 質量(kg) |
---|---|---|---|---|---|---|---|
FAV-3/4SA | 50 | 60 | 80 | 150 | 169 | 80 | 1.2 |
FAV-1SA | 55 | 70 | 90 | 170 | 198 | 80 | 1.6 |
FAV-2SA | 75 | 100 | 120 | 220 | 262 | 80 | 3.3 |
FAV-3SA | 95 | 135 | 160 | 271 | 329 | 140 | 8.1 |
FAV-4SA | 110 | 160 | 185 | 306 | 381 | 140 | 11 |
FAV-6SA | 130 | 210 | 235 | 395 | 504 | 200 | 21 |
FAV-8SA | 175 | 270 | 300 | 490 | 635 | 250 | 36 |
*ハンドルのツマミはFAV-3SA以上からの装備です。
NAV 空圧作動式


型式 | A | φB | φC | D | E | 空気圧導入口 | 質量(kg) | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
NAV-1SA | 55 | 70 | 90 | 108 | 195 | Rc-1/8 | 1.6 | |
NAV-2SA | 75 | 100 | 120 | 145 | 258 | Rc-1/4 | 3.6 | |
NAV-3SA | 95 | 135 | 160 | 187 | 318 | Rc-1/4 | 9.3 | |
NAV-4SA | 110 | 160 | 185 | 220 | 382 | Rc-3/8 | 14.5 | |
NAV-6SA | 130 | 210 | 235 | 270 | 489 | Rc-3/8 | 28.5 | |
NAV-8SA | 175 | 270 | 300 | 355 | 639 | Rc-3/8 | 45 | |
NAV-10SA | 200 | 320 | 350 | 400 | 710 | Rc-3/8 | 62 |
*Rc…PTテーパーメネジ
真空電磁弁
特長(1)この真空電磁弁は微少リーク弁、真空継手部品類、パルミル真空計と組合せることにより、簡易真空一定システムとして使用できます。(2) ボディーはステンレス製で耐食性に優れています。(3) クランプ継手を組合せれば容易かつ自在に真空配管を組むことができます。内径15Aによりコンダクタンスを大きくし、排気スピードも損ないません。逆真空も可能です。


型 式 | NEV-25NW-1 | NEV-25NW-2 |
---|---|---|
電 源 | AC100V±10% | AC200V±10% |
1φ 35W 50/60Hz | ||
頻 度 | 10回/min以下 | |
配管継手 | NW25 フランジ | |
コンダクタンス量 | 10L/sec CV値4.3 Orifice15mm | |
接ガス部材質 | SUS304/SUS316/Viton | |
動 作 | 通電時/弁座開 | |
取付姿勢 | コイル部が上 | |
開閉時間 | 1sec | |
面間ピッチ | 132mm (NW25時) | |
寸 法 | W132×D90×H145mm | |
質 量 | 2.5kg |
真空保持型自動リーク弁 <VKL-25>
ポンプ停止時に容器の真空を保持するとともに、ポンプ内部を大気圧に戻します。
ポンプの遅延リーク弁として機能し、オイルの逆流を防止します。


型 式 | VKL-25 |
---|---|
フランジ形式 | NW-25 |
電 源 | AC100V / AC200V |
シール部材質 | バイトン |
質 量 | 1.7kg |
特殊自動リーク弁<LCLV>シリーズ


油回転真空ポンプのON/OFF と連動し、ポンプが停止すると同時に被排気系を瞬間的に遮断し、その後でポンプ側をリークします。これによりポンプ側からの油の逆流を防止すると共に、停電時に真空槽内など被排気系を保護し誤操作を防ぎます。ポンプの吸気口近くに取付けます。
型式 | A | B | C | D | E | 質量(kg) |
---|---|---|---|---|---|---|
LCLV-25 | 45 | NW25 | 40 | 155 | 94 | 1.8 |
LCLV-40 | 55 | NW40 | 55 | 180 | 99 | 2.8 |
LCLV-50 | 65 | NW50 | 75 | 205 | 104 | 3.7 |
*本体材質: SUS304(シール部:フッ素ゴム)
*電磁バルブ電圧: AC100V/AC200V/DC24V(ご注文時にご指定ください)