真空ポンプ選定の手引き
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真空ポンプ選定方法
ポンプの大きさを選定する場合、次の計算式を用いて決定します。
S = ポンプの排気速度(L/min)
t = 排気時間(min)
V = 真空槽容積(L)
P1= 初期圧力(Pa)
P2= 最終圧力(Pa)
例1
容積100L の真空槽内を、大気圧から100Paまで5min で排気したい場合、必要な排気速度を求める。
従って、100Pa 時に138L/min 以上の排気速度がある真空ポンプが必要です。
例2
容積50L の真空槽内を、排気速度100L/min の真空ポンプで大気圧から10Pa まで排気す る場合の時間を求める。
従って、4.6min で排気できます。
注) 配管抵抗、放出ガス、漏れ等を考慮して実際には安全率を見込んでください。配管が長い･細い･曲がりが多い場合、水分等の揮発物がある場合は、特に注意が必要です。
また、連続運転圧力によってポンプの種類が異なります。詳細は弊社にご相談ください。
ご参考1
当社真空乾燥装置における真空槽と真空ポンプの組合せ例
| 槽内寸法(容積) W×D×Hmm(L) |
真空ポンプ型式 | 排気速度(50Hz) (L/min) |
|---|---|---|
| 300×300×300(27) | USW-50N／USW-100N | 50／100 |
| 400×400×400(64) | USW-150N／USW-300N | 150／300 |
| 500×500×500(125) | USW-300N／USW-500N | 300／500 |
| 600×600×600(216) | USW-500N／USW-650N | 500／650 |
| 800×800×800(512) | USW-650N／P1000D | 650／1000 |
| 1000×1000×1000(1000) | P1500D／KS-15／KS-20B | 1500／1500／2000 |
注)槽内到達圧力：×101Paオーダー(ベークアウト後無負荷常温時)
ご参考2
用途別適合真空ポンプ例
| 用途 |  |
真空ポンプ |
| 真空パック 吸着･搬送 |
|
回転翼型ドライ真空ポンプ 水封式真空ポンプ |
|---|---|---|
| 蒸留･濃縮 | |
テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプ 水封式真空ポンプ |
| 有機合成 | |
ベルト駆動型油回転真空ポンプ |
| 含浸･脱泡 注型･成型 |
|
ベルト駆動型油回転真空ポンプ キニー型真空ポンプ |
| 凍結乾燥 | |
油回転真空ポンプ+オイルクリーナー |
| 乾燥･ベーキング･脱ガス 熱処理 |
|
油回転真空ポンプ 油回転真空ポンプ+メカニカルブースター 油回転真空ポンプ+拡散ポンプ 油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ |
| 蒸着･スパッタリング | |
油回転真空ポンプ+拡散ポンプ 油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ |
注)用途ごとの一例であり、あくまでも排気系選定時のご参考としてお考えください
