PVD-9500-5｜パルミル真空計
PVD-9500-5
簡単操作で真空制御が可能なデジタルマノメーターで、以下の特長があります。
＊真空圧力設定は3点設定( 上下限) により、あらゆる用途に対応します。
＊信頼性抜群の絶対圧真空計... 拡散型半導体圧力センサーの採用により、圧力変動の激しい用途でも高信頼、長寿命で安心です。
仕様
| 測定範囲 | 119kPa～0.2kPa |
|---|---|
| 圧力単位 | kPa |
| 表示周期 | 10回／秒 |
| 制御出力 | 接点出力 3点独立 |
| リレー接点出力 AC110V 6A, 220V 3A（抵抗負荷） | |
| レコーダ出力 フルスケール 0～10V DC | |
| 電源電圧 | AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA |
| 寸 法 | W120×D200×H90 mm （パネルタイプ） |
| 質 量 | 1.8kg 測定子380g |
| 測 定 子 | PS-900型 φ15ゲージポート取付 ケーブル2m |
＊オプション：ケーブル 3m,6m,12m／パネル取付金具（PM9321）
出力ケーブルBNCコネクター（PM9322）／電源3P-2Pアダプター（PM9324）
半導体圧力マノメーターセンサー作動原理
結晶に機械的な外力をあたえると結晶格子に歪みが生じ、ピエゾ抵抗効果により抵抗率が変化します。拡散型半導体圧力センサーではシリコンを加工した薄いダイヤフラム（受圧部）に拡散抵抗を形成してあります。ダイヤフラムに圧力が加わりたわむと応力が発生し、この応力の大きさに応じて拡散抵抗の抵抗率が変化（ピエゾ抵抗効果）することを利用しています。
用途
この真空計は各方面の品質管理、真空乾燥や真空含浸などに広く利用できます。
| 1) | 真空乾燥：樹脂類の脱泡、医薬品（抗生物質・人工肝臓）や食品の低温乾燥処理、電子部品などの真空度測定 | |
|---|---|---|
| 2) | 真空含浸：発泡材や海綿材などの空気を抜いて、絶縁材、防腐材、硬化材等を含浸させる真空度管理 | |
| 3) | 真空保存：無酸化雰囲気（真空及び不活性ガス置換）で酸化性材料・食品や薬品を保存する圧力の監視 | |
| 4) | 搬送装置（ワークの吸着確認）：ワークの吸着搬送システムにおいて、真空ポンプと真空センサーを組合せることにより、吸着確認が出来ます。 | |
| 5) | 簡易真空一定装置への応用 |
オプション
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| ゲージポート継手 | ゲージポート |
