PVD-9500-5|パルミル真空計
PVD-9500-5

簡単操作で真空制御が可能なデジタルマノメーターで、以下の特長があります。
*真空圧力設定は3点設定( 上下限) により、あらゆる用途に対応します。
*信頼性抜群の絶対圧真空計... 拡散型半導体圧力センサーの採用により、圧力変動の激しい用途でも高信頼、長寿命で安心です。
仕様
測定範囲 | 119kPa~0.2kPa |
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圧力単位 | kPa |
表示周期 | 10回/秒 |
制御出力 | 接点出力 3点独立 |
リレー接点出力 AC110V 6A, 220V 3A(抵抗負荷) | |
レコーダ出力 フルスケール 0~10V DC | |
電源電圧 | AC 110V±10% 50Hz/60Hz 20VA |
寸 法 | W120×D200×H90 mm (パネルタイプ) |
質 量 | 1.8kg 測定子380g |
測 定 子 | PS-900型 φ15ゲージポート取付 ケーブル2m |
*オプション:ケーブル 3m,6m,12m/パネル取付金具(PM9321)
出力ケーブルBNCコネクター(PM9322)/電源3P-2Pアダプター(PM9324)
半導体圧力マノメーターセンサー作動原理
結晶に機械的な外力をあたえると結晶格子に歪みが生じ、ピエゾ抵抗効果により抵抗率が変化します。拡散型半導体圧力センサーではシリコンを加工した薄いダイヤフラム(受圧部)に拡散抵抗を形成してあります。ダイヤフラムに圧力が加わりたわむと応力が発生し、この応力の大きさに応じて拡散抵抗の抵抗率が変化(ピエゾ抵抗効果)することを利用しています。
用途
この真空計は各方面の品質管理、真空乾燥や真空含浸などに広く利用できます。
1) | 真空乾燥:樹脂類の脱泡、医薬品(抗生物質・人工肝臓)や食品の低温乾燥処理、電子部品などの真空度測定 | |
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2) | 真空含浸:発泡材や海綿材などの空気を抜いて、絶縁材、防腐材、硬化材等を含浸させる真空度管理 | |
3) | 真空保存:無酸化雰囲気(真空及び不活性ガス置換)で酸化性材料・食品や薬品を保存する圧力の監視 | |
4) | 搬送装置(ワークの吸着確認):ワークの吸着搬送システムにおいて、真空ポンプと真空センサーを組合せることにより、吸着確認が出来ます。 | |
5) | 簡易真空一定装置への応用 |
オプション
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ゲージポート継手 | ゲージポート |