キャパシタンスマノメーター
PVD-9500-L11/PVD-9500-L21/PVD-9500-L31
ダイヤフラムと呼ばれるごく薄い金属の膜で作られた検出器と、それに付随する電極間での静電容量の変化で、与えられた真空圧力を計測する方式の真空圧力計測器です。ゼロ安定性が高く、計測範囲のダイナミックレンジが広いという基本的な特長があり、腐食性ガスにも対応します。組み合わせる測定子により測定範囲が異なりますので、目的に合わせた機種をお選びください。
仕様
| 型 式 | PVD-9500-L11 | PVD-9500-L21 | PVD-9500-L31 |
|---|---|---|---|
| 測定範囲 | 1333Pa～1Pa | 13.33kPa～0.01kPa | 133.3kPa～0.2kPa |
| 圧力単位 | Pa | kPa | kPa |
| 表示周期 | 10回／秒 | ||
| 制御出力 | 接点出力 3点独立 | ||
| リレー接点出力 AC110V 6A, 220V 3A（抵抗負荷） | |||
| レコーダ出力 フルスケール 0～10V DC | |||
| 電源電圧 | AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA | ||
| 寸 法 | W120×D200×H90 mm | ||
| 質 量 | 1.8kg 測定子510g（ ケーブル7P-2ME 長さ2m付） | ||
| 測 定 子 | L11型 | L21型 | L31型 |
＊センサーゲージポートは1215PS（内12.7φ）を使用してください。（オプション）
特長
絶対精度
キャパシタンスマノメーターは、単位面積当たりの絶対圧力をきわめて正確に測定できる真空圧力ゲージです。測定するガスの種類に関係なく0.5%の精度で絶対圧力を測定することができます。このように大変高精度のため、圧力標準器の代用とすることができるわけです。
ゼロ安定性
計測電極を2つ持つ双電極構造を採用しています。内部の電子回路を、構造体により機械的、熱力学的に周囲環境から遮蔽する設計法を採用しています。
再現性
キャパシタンスマノメーターの繰返し測定における再現性は、フルスケールに対して1×10-4以上の精度です。ゼロ点や測定レンジのスパンに悪影響を与えることなく、繰返し大気圧までパージすることができます。
オプション
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| ゲージポート継手 | ゲージポート |
