研究開発用成膜装置「キット」

研究開発用成膜装置
「キット」

スパッタリング・蒸着装置・プラズマ処理装置(表面改質、有機物除去、等)をお探しの方に朗報です。研究開発用成膜装置欲しい分だけ買い足せる「キット」のご紹介です。

※料金等の詳細については、別途お問い合わせください。

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こんなところで使われています

  • 超親水性:酸化チタンの光触媒膜
  • 酸化防止: 半導体の接点部分に金を成膜
  • MEMS:微細構造を成膜とエッチングにより作製
  • 微細磁気記録:磁気ヘッドの高透磁率磁性膜で極薄のヨークを形成
  • レアメタルの使用量削減:触媒用白金を表面だけに成膜
  • 電磁波シールド:薄膜にすることで軽量化、小型化を実現
  • サーマルヘッドの発熱体:微細な発熱部を薄膜で作製
  • 透明導電膜:フラットパネルディスプレー等
  • 照明器具の反射板:LEDのケース
  • 各種光学フィルター: CCD用赤外線カットや、プロジェクター光源の分光フィルター
  • 反射防止膜:メガネやカメラのレンズコーティング
  • 装飾品:化粧品容器、家電製品等のプラスチックに金属を真空メッキ
  • 静電破壊防止、電磁波透過:携帯電話、家電製品 の筐体装飾(不連続膜;金属色であるが電気は流れない)
  • 可視光反射及び赤外光透過:ハロゲンランプのコールドミラー
  • 水素センサー:水素吸収による光透過率の変化により検出

こんな困りごとはありませんか?

○冷却水がない場所で使いたい → 空冷式はないか?
○メッキ設備設置の規制がある → 真空成膜は無公害です。ほとんど規制はありません。
○メッキがはがれて怪我をする → 真空薄膜は(0.05~0.1μm)と極薄。はがれても安全です。

成膜装置「キット」の概要

1. チャンバーユニット:チャンバー、ゲート弁、スパッタ源(または蒸着源orプラズマ源)、ビューポート、
  試料ステージ(オプション:加熱or冷却、RF印加)
2. 排気セット:油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ(または油拡散ポンプ+バルブ)、架台、等
3. 真空配管:(ゲージポート、ベントバルブ、ガス導入口 付き)
4. 真空計1:ピラニー真空計
5. 真空計2:熱陰極電離真空計(B-Aゲージ)
6. 真空計3:ダイアフラム真空計
7. 電源ユニット:スパッタ用DC電源(またはスパッタ用RF電源+マッチングボックスor抵抗加熱蒸着用電源)
8. ガス導入ユニット:マスフローコントローラ(またはニードルバルブセット)
9. 試料搬送用ロボット(手動式)
10. ロードロック兼搬送室:(チャンバー取付面 4室用または6室用)蓋、粗引きバルブ、ベントバルブ、架台

ご注意点

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