PVD-9500-5|パルミル真空計

PVD-9500-5


PVD-9500-5

簡単操作で真空制御が可能なデジタルマノメーターで、以下の特長があります。

*真空圧力設定は3点設定( 上下限) により、あらゆる用途に対応します。

*信頼性抜群の絶対圧真空計... 拡散型半導体圧力センサーの採用により、圧力変動の激しい用途でも高信頼、長寿命で安心です。

仕様


測定範囲 119kPa~0.2kPa
圧力単位 kPa
表示周期 10回/秒
制御出力 接点出力 3点独立
リレー接点出力 AC110V 6A, 220V 3A(抵抗負荷)
レコーダ出力 フルスケール 0~10V DC
電源電圧 AC 110V±10% 50Hz/60Hz 20VA
寸  法 W120×D200×H90 mm (パネルタイプ)
質  量 1.8kg 測定子380g
測 定 子 PS-900型 φ15ゲージポート取付 ケーブル2m

*オプション:ケーブル 3m,6m,12m/パネル取付金具(PM9321)
出力ケーブルBNCコネクター(PM9322)/電源3P-2Pアダプター(PM9324)

半導体圧力マノメーターセンサー作動原理

結晶に機械的な外力をあたえると結晶格子に歪みが生じ、ピエゾ抵抗効果により抵抗率が変化します。拡散型半導体圧力センサーではシリコンを加工した薄いダイヤフラム(受圧部)に拡散抵抗を形成してあります。ダイヤフラムに圧力が加わりたわむと応力が発生し、この応力の大きさに応じて拡散抵抗の抵抗率が変化(ピエゾ抵抗効果)することを利用しています。

用途


この真空計は各方面の品質管理、真空乾燥や真空含浸などに広く利用できます。

1)   真空乾燥:樹脂類の脱泡、医薬品(抗生物質・人工肝臓)や食品の低温乾燥処理、電子部品などの真空度測定
2)   真空含浸:発泡材や海綿材などの空気を抜いて、絶縁材、防腐材、硬化材等を含浸させる真空度管理
3)   真空保存:無酸化雰囲気(真空及び不活性ガス置換)で酸化性材料・食品や薬品を保存する圧力の監視
4)   搬送装置(ワークの吸着確認):ワークの吸着搬送システムにおいて、真空ポンプと真空センサーを組合せることにより、吸着確認が出来ます。
5)   簡易真空一定装置への応用

オプション


ゲージポート継手  ゲージポート
ゲージポート継手  ゲージポート