研究開発用成膜装置「キット」

■当社では、研究開発用途向けに真空成膜装置のユニット販売を行っております。スパッタリング、蒸着装置、プラズマ処理装置(表面改質、有機物除去等)を低コストでお探しの方に最適です。研究開発用として必要な分だけ買い足せる成膜装置「キット」です。

研究開発用成膜装置「キット」

用途事例


超親水性 酸化チタンの光触媒膜
酸化防止 半導体の接点部分に金を成膜
MEMS 微細構造を成膜とエッチングにより作成
微細磁気記録 磁気ヘッドの高透磁率磁性膜で極薄のヨークを形成
レアメタルの使用量削減  触媒用白金を表面だけに成膜
電磁波シールド 薄膜にすることで軽量化、小型化を実現
サーマルヘッドの発熱体  微細な発熱部を薄膜で作成
透明導電膜 フラットパネルディスプレー等
照明器具の反射板 LEDのケース
各種光学フィルター CCD用赤外線カットや、プロジェクター光源の分光フィルター
反射防止膜 メガネやカメラのレンズコーティング
装飾品 化粧品容器、家電製品等のプラスチックに金属を真空メッキ
静電破壊防止、電磁波透過 携帯電話、家電製品の筐体装飾
(不連続膜;金属色であるが電気は流れない)
可視光反射及び赤外光透過 ハロゲンランプのコールドミラー
水素センサー 水素吸収による光透過率の変化により検出

成膜装置「キット」概要


  1. チャンバーユニット:チャンバー、ゲート弁、スパッタ源(または蒸着源orプラズマ源)、ビューポート、試料ステージ(オプション:加熱or冷却、RF印加)
  2. 排気セット: 油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ(または油拡散ポンプ+バルブ)、架台、等
  3. 真空配管: (ゲージポート、ベントバルブ、ガス導入口 付き) 
  4. 真空計1:ピラニー真空計
  5. 真空計2:熱陰極電離真空計(B-Aゲージ)
  6. 真空計3:ダイアフラム真空計
  7. 電源ユニット:スパッタ用DC電源(またはスパッタ用RF電源+マッチングボックスor抵抗加熱蒸着用電源)
  8. ガス導入ユニット:マスフローコントローラ(またはニードルバルブセット)
  9. 試料搬送用ロボット(手動式)
  10. ロードロック兼搬送室:(チャンバー取付面 4室用または6室用)蓋、粗引きバルブ、ベントバルブ、架台
研究開発用成膜装置「キット」