真空バルブ

クランプ型真空弁<ATV/ATNV>シリーズ(SUS304)


ISO 規格の真空フランジを採用したベローズ式真空バルブです。クランプとセンターリングにより脱着は簡単、確実です。また、バルブボディー及び内部部品にはステンレス材を使用し耐食性に優れています。開閉方式として、手動式と、圧縮空気による自動式の2機種を用意しています。用途に合わせて選択してください。

ATV 手動式


ATV ATV
型式 B C L D E F OD
ATV-16 54 41 139 158 60 43 57 30
ATV-25 52 38 132 152 60 43 57 40
ATV-40 60 61 165 197 60 54 76 55
ATV-50 85 78 203 249 60 63 88.5 75

ATNV 空圧作動式


AV L AV L
型式 B C L D E F OD
ATNV-16 54 55 157 13 32 42.5 57 30
ATNV-25 53 50 151 13 32 42.5 57 40
ATNV-40 63 68 196 16 41 54 76 55
ATNV-50 86 89 261 20 54 63 88.5 75

*作動圧力: 0.25MPa~0.5MPa

ベローズ式真空弁 <AV/SV> シリーズ


シャフトシールにベローシール方式を採用した真空バルブです。このため閉動作時でも、シャフトからのガス放出による一時的な圧力上昇が発生しません。

AV L型


AV L AV L
型式 A B C D φE F
AV-1/2 95 75 170 82 22 60
AV-1 100 80 180 85 34 60

SV ストレート型


SV SV
型式 A B φC φD
SV-1 110 182 34 60

フランジ型真空弁<FAV/NAV>シリーズ


JIS B2290 規格の真空フランジを採用し、バルブ本体はステンレス製です(一部軟鋼製もあります)。
手動開閉式と、圧縮空気による自動開閉式の2機種を用意しておりますので、用途により選択してください。

FAV 手動式


AV L AV L

型式 A φB φC D E φF 質量(kg)
FAV-3/4SA 50 60 80 149 168 80 1.2
FAV-1SA 55 70 90 169 197 80 1.6
FAV-2SA 75 100 120 220 262 80 3.5
FAV-3SA 95 135 160 280 338 140 8.0
FAV-4SA 110 160 185 315 390 140 11
FAV-6SA 130 210 235 410 519 200 21
FAV-8SA 175 270 300 494 639 225 35
FAV-10SA 200 320 350 640 820 250 59
FAV-14SA 260 420 450 810 1080 250 105

*FAV-10,FAV-14は軟鋼製(Niメッキ)もございます。(末尾A)
*ハンドルのツマミはFAV-3SA以上からの装備です。

NAV 空圧作動式


NAV NAV

型式 A φB φC D E 空気圧導入口 質量(kg)
NAV-1SA 55 70 90 108 195 Rc-1/8 1.6
NAV-2SA 75 100 120 145 258 Rc-1/4 3.5
NAV-3SA 95 135 160 187 321 Rc-1/4 9.5
NAV-4SA 110 160 185 220 382 Rc-3/8 14
NAV-6SA 130 210 235 270 489 Rc-3/8 28.5
NAV-8SA 175 270 300 355 688 Rc-3/8 45
NAV-10SA 200 320 350 400 768 Rc-1/2 71
NAV-14SA 260 420 450 510 966 Rc-1/2 120
NAV-18SA 350 535 575 700 1228 Rc-1/2 240

*NAV-10以上は軟鋼製(Niメッキ)もございます。(末尾A)
*Rc…PTテーパーメネジ

真空電磁弁


特長(1)この真空電磁弁は微少リーク弁、真空継手部品類、パルミル真空計と組合せることにより、簡易真空一定システムとして使用できます。(2) ボディーはステンレス製で耐食性に優れています。(3) クランプ継手を組合せれば容易かつ自在に真空配管を組むことができます。内径15Aによりコンダクタンスを大きくし、排気スピードも損ないません。逆真空も可能です。

真空電磁弁 真空電磁弁
型  式 NEV-25NW-1 NEV-25NW-2
電  源 AC100V±10% AC200V±10%
1φ 35W 50/60Hz
頻  度 10回/min以下
配管継手 NW25 フランジ
コンダクタンス量 10L/sec CV値4.3 Orifice15mm
接ガス部材質 SUS304/SUS316/Viton
動  作 通電時/弁座開
取付姿勢 コイル部が上
開閉時間 1sec
面間ピッチ 132mm (NW25時)
寸  法 W132×D90×H145mm
質  量 2.5kg

特殊自動リーク弁<LCLV>シリーズ


LCLV LCLV

油回転真空ポンプのON/OFF と連動し、ポンプが停止すると同時に被排気系を瞬間的に遮断し、その後でポンプ側をリークします。これによりポンプ側からの油の逆流を防止すると共に、停電時に真空槽内など被排気系を保護し誤操作を防ぎます。ポンプの吸気口近くに取付けます。

型式 A B C D E 質量(kg)
LCLV-25 45 NW25 40 155 94 1.8
LCLV-40 55 NW40 55 180 99 2.8
LCLV-50 65 NW50 75 205 104 3.7

*本体材質: SUS304(シール部:フッ素ゴム)

*電磁バルブ電圧: AC100V/AC200V/DC24V(ご注文時にご指定ください)

簡易型ストップバルブ <BV>シリーズ


簡易型ストップバルブ

ボールバルブを使用した簡易型のストップ弁です。NW 真空フランジ接続ですので取り外しも簡単です。

型式 ボールバルブ 接続
BV16A 1/4 NW16-NW16
BV1625A 1/2 NW16-NW25
BV25A 1/2 NW25-NW25