真空ポンプ選定の手引き

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真空ポンプ選定方法


ポンプの大きさを選定する場合、次の計算式を用いて決定します。

S = ポンプの排気速度(L/min)
t = 排気時間(min)
V = 真空槽容積(L)
P1= 初期圧力(Pa)
P2= 最終圧力(Pa)

例1

 容積100L の真空槽内を、大気圧から100Paまで5min で排気したい場合、必要な排気速度を求める。

従って、100Pa 時に138L/min 以上の排気速度がある真空ポンプが必要です。

例2

容積50L の真空槽内を、排気速度100L/min の真空ポンプで大気圧から10Pa まで排気す る場合の時間を求める。

従って、4.6min で排気できます。

注) 配管抵抗、放出ガス、漏れ等を考慮して実際には安全率を見込んでください。配管が長い・細い・曲がりが多い場合、水分等の揮発物がある場合は、特に注意が必要です。 また、連続運転圧力によってポンプの種類が異なります。詳細は弊社にご相談ください。

ご参考1

当社真空乾燥装置における真空槽と真空ポンプの組合せ例

槽内寸法(容積) 
W×D×Hmm(L)
真空ポンプ型式 排気速度(50Hz)
(L/min)
300×300×300(27) USW-50NUSW-100N 50/100
400×400×400(64) USW-150NUSW-300N 150/300
500×500×500(125) USW-300NUSW-500N 300/500
600×600×600(216) USW-500NUSW-650N 500/650
800×800×800(512) USW-650NP1000D 650/1000
1000×1000×1000(1000) P1500DKS-15/KS-20B 1500/1500/2000

注)槽内到達圧力:×101Paオーダー(ベークアウト後無負荷常温時)

ご参考2

用途別適合真空ポンプ例

用途 真空ポンプ
真空パック
吸着・搬送
回転翼型ドライ真空ポンプ
水封式真空ポンプ
     
蒸留・濃縮 テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプ
水封式真空ポンプ
     
有機合成 ベルト駆動型油回転真空ポンプ
     
含浸・脱泡
注型・成型
ベルト駆動型油回転真空ポンプ
キニー型真空ポンプ
     
凍結乾燥 油回転真空ポンプ+オイルクリーナー
     
乾燥・ベーキング・脱ガス
熱処理
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ+メカニカルブースター
油回転真空ポンプ+拡散ポンプ
油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ
     
蒸着・スパッタリング 油回転真空ポンプ+拡散ポンプ
油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ

注)用途ごとの一例であり、あくまでも排気系選定時のご参考としてお考えください