ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空成膜装置Vacuum Coater Equipment成膜装置「キット」概要1.チャンバーユニット:チャンバー、ゲート弁、スパッタ源(または蒸着源orプラズマ源)、ビューポート、試料ステージ(オプション:加熱or冷却、RF印加)2.排気セット:油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ(または油拡散ポンプ+バルブ)、架台、等3.真空配管:(ゲージポート、ベントバルブ、ガス導入口付き)4.真空計1:ピラニー真空計5.真空計2:熱陰極電離真空計(B-Aゲージ)6.真空計3:ダイアフラム真空計7.電源ユニット:スパッタ用DC電源(またはスパッタ用RF電源+マッチングボックスor抵抗加熱蒸着用電源)8.ガス導入ユニット:マスフローコントローラ(またはニードルバルブセット)9.試料搬送用ロボット(手動式)10.ロードロック兼搬送室:(チャンバー取付面4室用または6室用)蓋、粗引きバルブ、ベントバルブ、架台チャンバーユニットスパッタ源蒸着源等両側面に排気及びビューボート他ゲート弁幅100mm180180200試料ステージシステム構成イメージRF電源増設チャンバー蒸着電源DC電源ガス系真空配管排気セットロードロック搬送アーム真空計38