ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空成膜装置Vacuum Coater Equipment研究開発用成膜装置「キット」Vacuum deposition equipment [Kit] for R&D■当社では、研究開発用途向けに真空成膜装置のユニット販売をおこなっております。■SATO VAC INC. offers vacuum deposition device unit for R&D purpose.スパッタリング、蒸着装置、プラズマ処理装置(表面改質、有機物除去等)を低コストでお探しの方に最適です。研究開発用として必要な分だけ買い足せる成膜装置「キット」です。Suitable for researchers who need inexpensive sputtering, vacuumdeposition, plasma treatment (for surface modification, organicsremoval, etc.) devices. Deposition device [Kit] is available as youneed for R&D purpose.用途事例超親水性:酸化チタンの光触媒膜酸化防止:半導体の接点部分に金を成膜MEMS:微細構造を成膜とエッチングにより作成微細磁気記録:磁気ヘッドの高透磁率磁性膜で極薄のヨークを形成レアメタルの使用量削減:触媒用白金を表面だけに成膜電磁波シールド:薄膜にすることで軽量化、小型化を実現サーマルヘッドの発熱体:微細な発熱部を薄膜で作成透明導電膜:フラットパネルディスプレー等照明器具の反射板:LEDのケース各種光学フィルター:CCD用赤外線カットや、プロジェクター光源の分光フィルター反射防止膜:メガネやカメラのレンズコーティング装飾品:化粧品容器、家電製品等のプラスチックに金属を真空メッキ静電破壊防止、電磁波透過:携帯電話、家電製品の筐体装飾(不連続膜;金属色であるが電気は流れない)可視光反射及び赤外光透過:ハロゲンランプのコールドミラー水素センサー:水素吸収による光透過率の変化により検出Application ExamplesSuperhydrophilicity:Photocatalytic film of titanium oxideAntioxidant:Deposition of gold on the contacts of semiconductorsMEMS:Microstructure formed with deposition and etchingMicromagnetic recording:Ultra-thin yoke made by the magnetic head with highpermeability magnetic material filmReduction of rare metals use:Deposition of platinum catalyst only on surfacesElectromagnetic shielding:Light weight and small size using thin filmHeater element for thermal head: Microheater element formed by thin filmTransparent conductive film:Flat-panel display etc.Reflector of lighting equipment:LED casesVarious optical filters:IR cutoff filter for CCD and spectral filter for projectorAntireflection coating:Lens coating for glasses and camerasOrnament:Vacuum plating of metals on plastic parts of cosmeticbottles and household appliancesProtection for electrostatic breakdown and electromagnetic permeation:Decoration of enclosure of cell phones and householdappliances(Non-continuous film: Electrically nonconductivealthough in metallic luster)Reflective to visible light and IR rays permeable: Cold mirror for halogen lampHydrogen sensor:Detection by change in light transmittance by hydrogenabsorption37