ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空成膜装置Vacuum Coater EquipmentChemical Vapor DepositionSFCV SeriesMajor specificationsModelSFCV-1001 SFCV-1003 SFCV-1501FurnaceCore TubeMaterial材I.D.質SFCV-1001 Transparent Quartz SFCV-1003 TubeSFCV-1501Alumina Tubeφ24mm,φ50mm透明石英管アルミナφ24mm管Tuber FurnaceHeatingTemperatureNormal内径常Max用φ24mm、φ50mm100 to1000℃100~1000℃1150℃500φ24mm to1400℃500~1400℃1500℃Heating ZoneMax1Zone1150℃3Zone1500℃1ZoneHeater Capacity1ゾーン1.0kW3ゾーン2.4kW1ゾーン1.2kWEvacuationOil-sealed Rotary Vacuum Pump1.0kWEvacuation Rate:100~150L/min2.4kW1.2kWGas SupplyMass Flow ControllerTube Type Gas Flow MeterCompatible Gases排気速度:100~150L/minFlow Rate:10~100sccm流量:10~100sccmH2,CH4,C2H6,C2H4,C2H2,C6H6, etc.Gas DilutionAir EjectorAir Flow Rate:15Nl/minVacuum GaugeControlControl PanelPressure ControlReturn to Atmospheric Press.Temperature ControlPressure ControlCapacitance Manometer:0.133~1330Pa,100Pa~133kPaDigital Compound Gauge:-100kPa~+100kPaProgrammable ControlValve ON/OFF ControlSwitches for the Device, Programmable Temperature Controller, Vacuum GaugeDisplay: Temperature, Degree of Vacuum,ON/OFF Status of the Devices, Alarm, PowerPower SupplyOutside DimensionsMassSingle PhaseW×D×H100V・30A 100V・50A 200V・20A1450×500×1200mm125kg 134kg 128kgVacuum Roll Coater for R&DSRC-100VMajor specificationsUltimate PressureVacuum GaugeWorkpiece SizeFeed Rate×10 ?5 PaB-A Gauge, Capacitance ManometerW100mm×L200m×t 50~100um0.2~4m/min (Both in CW/CCW)Vacuum ChamberSSUS304 (JIS),W500×H850×D450mmRoll ConeShaft SealPlasma Treatment before Depositionφ250, Water CooledMagnetic Seal13.56MHzRF Electrode×1Evaporation Source170×200 Magnetron Type×2(max.)2Resistance Evaporation SourceMain PumpTMP1100L/sWater Vapor PumpProcess GasMachine FootprintCRYO Super TrapAr , O2 , N2 , Mass Flow Controller is used4m 2Utilities・AC200V3φ100A・Cooling Water36