ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空成膜装置Vacuum Coater Equipment研究開発用ロールコーターSRC-100VVacuum Roll Coater for R&D■研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能ロールコーターです。プラズマ処理、スパッタ及び蒸着のユニットがあります。■The SRC-100V is a small high performance roll coater suitable for R&D applications andfor small lot production. Units for plasma treatment, sputtering, and vapor deposition areavailable.主仕様到達圧力真空計ワークサイズ送り速度×10 ?5 PaBAゲージ、キャパシタンスマノメーターW100mm×L200m×t 50~100um0.2~4m/min (CW/CCW可能)真空槽SUS304W500×H850×D450mmロールコーンφ250水冷式軸シール成膜前プラズマ処理磁気シール使用13.56MHzRF電極×1式蒸発源170×200DCマグネトロン型×2式まで2抵抗蒸発源主ポンプTMP1100L/s水分排気プロセスガス床面積CRYOスーパートラップAr , O2 , N2 ,マスフローコントローラ使用4m 2ユーティリティ・AC200V3φ100A・冷却水35