ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

高真空排気装置High Vacuum Packaged Pumping SystemTPS Type / DPS Typeターボ分子ポンプ排気システム Turbo Pumping System●MZまたはスクロール型ドライ補助ポンプと組合せてフルドライの排気系に。●起動・停止に要する時間が短い。●不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。(注)故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります。●May be used with MZ-or Scroll-type auxiliarypumps to provide a dry exhaust systems.●Can start and stop within a short time.●Applied turbo molecular pump has a strongstructure for unexpected air coming in.(Note)Letting air in intentionally and repeatedly causes trouble.油拡散ポンプ排気システム Diffusion Pumping System●より低コストで高真空雰囲気を得られます。●三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能。●保守点検が容易。●Provides high vacuum atmosphere at lowercost.●Three-way valve switching allows pumpingwith the auxiliary pump only.●Easy maintenance and inspection.タイプ仕様Specifications for "TPS"Type型式Model TPS-50ZATPS-50ZBTPS-50ZCTPS-220ZA TPA-220ZB TPS-220ZCターボ分子ポンプTurbo-molecular pump50L/s220L/s補助ポンプRoughing pump到達圧力Ultimate pressure起動/停止時間Start/Stop time吸気口径Suction connection portDW-60USW-50NMZ-2CNT×10 ?5 Pa *1×10 ?3 Pa *13/3 min *2VG-65DW-120 USW-100N ISP-250C×10 ?5 Pa *1×10 ?4 Pa *12.2/3.5 min *2VG-100所要電力(AC) Power supply100V 15A質量Weight約51kg約55kg約45kg約56kg約59kg約70kg外形寸法(W×D×H) Outer dimensions(mm)600×400×700 600×400×750 600×400×700600×400×730 600×400×800 600×400×850タイプ仕様Specifications for "DPS"Type型式Model DPS-2-ZADPS-2-ZBDPS-3-ZADPS-3-ZBDPS-4-ZADPS-4-ZB油拡散ポンプDiffusion pump70L/s150L/s250L/s補助ポンプRoughing pumpDW-60USW-50NDW-120USW-100NDW-120USW-150N到達圧力Ultimate pressure×10 ?4 Pa *3起動時間Start time17 min *222 min *2吸気口径Suction connection portVF-50VF-80VF-100所要電力(AC) Power supply100V 15A100V 15A×2 *4質量Weight約57kg約60kg約68kg約70kg約70kg約80kg外形寸法(W×D×H) Outer dimensions(mm)600×400×935600×400×995 600×400×1095600×400×1030 600×400×1130*1.ターボ分子ポンプをベーキング・ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。It is a value at the pump head after baking and degassing of the turbo-molecular pump.*2.起動時間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時間が異なります。The startup time is the value at which the suction port is closed off. The duration varies with chamber volume.*3.吸気口閉め切りでの値です。It is a value when shutting the suction port.*4.補助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2本)があります。There are separate 2 pcs. of power plug for auxiliary pump and main pump.*お客様の使い勝手・仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたします。We also manufacture custom units designed for ease of use built to client specifications that incorporate various options.3229