ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空熱処理炉(焼入・焼結・焼鈍)Vacuum Furnaces (Quenching, Sintering, Annealing)温度領域と構成“VHF”Series分類加熱温度制御センサヒータ材質(加熱方式)超高温1400~2300℃放射温度計カーボンヒータメタルヒータ(W、Mo)※1高温(1)1000~1500℃白金?ロジューム熱電対(S型、R型、B型)カーボンヒータメタルヒータ(Mo、SiC)※1高温(2)700~1100℃クロメルーアルメル熱電対(K型)カンタル線ヒータ※1) Mo:モリブデンW:タングステンSiC:炭化けい素■超高温域では高温に加熱された領域にセンサを差し込んで温度を測定する事はできないので放射温度計を用います。高温域では700℃? 1100℃(高温(2))の範囲ならばK型熱電対(アルメル-クロメル)で、1000℃? 1500℃(高温(1))の範囲ではS,R,B型(白金-白金ロジューム合金)の熱電対を加熱域に差し込んで温度を測定します。冷却■冷却方式には、自然冷却、ガス冷却、油冷却などの冷却方式があります。短時間で冷却したい場合冷却室を別に設けることも可能です。真空炉の排気系■真空炉の目的や圧力領域に合わせて真空ポンプの構成を選択します。クリーン度を要求される場合はドライポンプやドライポンプ+ターボ分子ポンプorクライオポンプを選定します。圧力領域(真空度)と真空ポンプ圧力(Pa)※大気~3.0大気~101000~0.43~1×10 ?3真空ポンプ油回転ポンプドライポンプメカニカルブースタ+油回転ポンプ油拡散ポンプ+油回転ポンプ200~2×10 ?5ターボ分子ポンプ+ドライポンプまたは、ターボ分子ポンプ+油回転ポンプ40~10 ?7クライオポンプ+ドライポンプまたは、クライオポンプ+油回転ポンプ※)圧力(真空度)は容器内圧力で、真空ポンプ吸入口圧力より高くなるのは、配管の抵抗と容器内のガス発生による影響です。運転操作■装置内に処理材をセット後の真空排気、昇温、冷却、大気復圧の一連の工程を自動で行う場合(全自動運転)と、各工程を個別に操作するマニュアル運転を選択できます。■加熱温度の制御も加熱温度を指定するだけの場合や、設定温度や昇温時間を設定するプログラム制御などが選択できます。■温度制御はPID制御を用います。■安全回路:ヒータの過昇温、冷却水不足、真空異常などを検出し、ヒータ停止、あるいは全停止します。28