ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空熱処理炉(焼入・焼結・焼鈍)Vacuum Furnaces (Quenching, Sintering, Annealing)“VHF”Series■当社は、お客様の用途に合った各種真空炉を、幅広い経験と技術により提供しています。■SATO VAC INC. offers various type of vacuum furnaces that meet customer's applicationbased on the diversified experience and expertise.横型内熱式VHF-Ⅰ-HIntermal-heating horizontal type竪型内熱式VHF-Ⅰ-VIntermal-heating vertical type横型外熱式VHF-E-HExternal-heating horizontal type真空炉の種類と構造■真空雰囲気下で加熱する装置は温度領域によりヒータ材質、温度制御センサ、容器構造および材質が異なります。タイプによる分類タイプⅠ内熱・カーボンタイプⅡ内熱・メタル等タイプⅢ外熱型式VHF-Ⅰ(C)VHF-Ⅰ(M)VHF-E加熱温度域超高温、高温(1)、高温(2)700~2300℃超高温、高温(1)1000~2300℃高温(1)、高温(2)700~1600℃ヒータ材硬質カーボンメタルヒータ(タングステン・モリブデン・炭化珪素)メタルヒータ(カンタル線・炭化珪素)容器材質ステンレス鋼:SUS304(水冷ジャケット付)ステンレス鋼:SUS304(水冷ジャケット付)炉芯管材:アルミナ管(~1600℃)石英ガラス管(~1200℃)構造■ヒータ材は、カーボン系(タイプI)とメタル系(タイプII)があります。カーボン系は低コストですが、微粉末が発生するのでクリーン度が要求される場合はメタル系のヒータを用います。又、高温域でも比較的温度が低い高温域(2)ではヒータ材により低コストのカンタル線や炭化けい素材を使う場合もあります(タイプIII)。■超高温、高温(1)の領域では加熱域の温度が高いので安全性の点から容器を2重構造の水冷ジャケット型(タイプI、II)にし、材質をステンレスにするケースが多くなります。■小型のものではタイプIII(管状炉)の形状も選択できます。容器材質がアルミナ管や石英ガラス管で有効エリアが円筒形になります。27