ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空ガス置換乾燥装置Vacuum Gas Substitution Drying Oven真空排気による効率的なガス置換により、処理室内の酸素濃度を迅速に低減、低酸素環境でのクリーンなガス雰囲気循環ファン加熱をおこないます。The efficient substitution of gas facilitated by the vacuum exhaust enables rapid reduction inoxygen density in the processing chamber and clean gas atmosphere circulation fan heatingin low-oxygen atmospheres.特長■置換に要するガス量と時間を大幅に低減。強力な真空排気機能によりガス置換を効率的におこない、フロー式に比べガス量の節約と時間の短縮をもたらします。■酸素濃度管理と工程管理が確実で容易。一定の排気能力を持った真空ポンプで槽内エアを排気し、ガス置換の繰り返し回数で酸素濃度を確実に管理できます。同時に置換に要する時間も確定されますので、トータルの工程管理も確実、容易におこなえます。■真空用チャンバー・部品で構成し、外部雰囲気の影響を受けません。構造、強度など真空用として設計製作されておりますので、システム全体の漏れ量は極めて少なく(Leakrate:×10 ?6 Pa・L/sec以下)、真空排気中でも外部雰囲気に影響されず、低酸素雰囲気でのクリーンな加熱処理が可能です。■真空とガス雰囲気…2種類の加熱処理が1台でできます。当社標準規格の真空仕様で、真空乾燥・真空ベーキング処理ももちろん可能です。■強制冷却機能(オプション)により、処理時間をさらに短縮。オプションの強制冷却機能を組込むことにより、ワークの取り出し温度までの冷却時間を大幅に短縮し、結果としてトータルの処理時間を短縮します。機能■加熱機構槽内4面に組込まれたシースヒーターを加熱源とし、背面に設置したファンによりガス循環加熱をおこないます。加熱温度を設定して昇温する定置PID制御、またはプロコンの昇温パターンによるPID制御仕様が選択できます。■冷却処理温度からワーク取り出しまでの冷却工程には以下の3方式があります。1.ガス置換冷却2.ガスフロー冷却3.ガス循環強制冷却(3はオプション仕様)冷却方式はワークの材質・形状、処理時間などにより決められます。■真空排気油回転真空ポンプにより排気し、槽内到達圧力は×10 1 Paとなります。ポンプ単独の排気系としては高い真空度が得られ、酸素を含んだ槽内ガスを強制的に排気します。■運転スタート/ストップ自動運転スタート:手動及びタイマースタート/ストップ:シーケンスプログラムによります。■安全性・保守自動運転時に装置異常を検出した場合、異常内容(冷却水量低下、エア圧力低下、過昇温etc.)により運転全停止または一部機能停止を行い、異常内容を表示します。用途主として、半導体部品、電気・電子部品、電子材料、金属、セラミック、新素材等の低酸素雰囲気でのクリーンな乾燥・ベーキング処理工程に広く用いられています。もちろん、真空乾燥・真空ベーキング処理にもお使いいただける構造となっています。21