ブックタイトル佐藤真空真空装置2017

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概要

佐藤真空真空装置2017

真空乾燥装置・真空ベーキング装置Vacuum Drying Oven/Vacuum Baking EquipmentDH“Fairy”Series用途生産ラインでの半導体部品、精密・電子機器部品、電子材料、金属、セラミック、レーザー機器部品、プラズマ電極部品等の真空ベーキング処理に広く用いられています。DH <フェアリー>シリーズ仕様型式DH-□DPDH-□TP排気系:油回転真空ポンプ+油拡散ポンプ排気系:油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ方式加熱内部加熱方式(棚板または内面)冷却真空放冷、N2強制循環冷却(オプション)最高温度範囲300℃~650℃性能到達圧力DH-□DP:×10 ?3 Pa(ベークアウト後無負荷常温時)DH-□TP:×10 ?4 Pa(ベークアウト後無負荷常温時)内装/外装ステンレス鋼:研磨(SUS304)/圧延鋼鈑:塗装扉/シール材片開き:クランプ締結/バイトンOリング断熱材アルミナ・シリカブランケット/フランジ・扉Oリング部:水冷管付加熱方式内部ヒーターパネル加熱(棚板兼用または内面、シースヒーター付)構成温度制御方式プログラム温調計または定置温調計:PID制御*1真空排気系真空計*2制御盤油回転真空ポンプ+油拡散ポンプ:DH-□DP油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ:DH-□TPB-Aゲージ電離真空計、ピラニ真空計、デジタル連成計架台組込型または自立型運転自動/手動:切替スイッチで選択運転状態グラフィックパネルに機器系統、作動機器ON/OFF表示表示温度LEDデジタル表示操作温度パターンプログラム温調計:30パターン、300セグメント真空排気シーケンサプログラムによる自動運転機能定置運転:設定温度で自動運転/タイマー設定で冷却スタート*3昇温/冷却プログラム運転:入力パターンにより昇温/冷却安全装置:インターロック真空排気異常、過熱防止、モーター過負荷、冷却水量低下,作動エア圧力低下、漏電ブレーカー電源三相200V 50/60Hz規格冷却水装置入口:0.2MPa以上30~60L/minエア装置入口:0.5MPa以上オプションオイルクリーナーWSシリーズ、コールドトラップ*1.高真空排気はクライオポンプでも可能です。*2.制御盤:内容積1m 3以下は架台組込型、1.2m 3以上は自立型。*3.定置温度制御:設定温度キープ時間は外部タイマー(操作パネル面)で指定、タイマーアップで冷却工程スタート。*その他各種仕様に合わせ製作いたします。18