ブックタイトル佐藤真空規格品2017

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概要

佐藤真空規格品2017

真空排気ユニット:真空ポンプの選定と組合せ4.排気ユニット構成の留意点およびメンテナンス(1)配管及び接続部シール容器と真空ポンプをつなぐ配管は金属配管、もしくは真空用ゴムホースを使用する。網入りホースを使用したり、金属配管でもねじ込みで接続するケースをよく見かけるが、ホース継手部、ねじ込み部の隙間がリークの原因となり、求める圧力まで到達しないのがほとんどである。金属配管の接続はフランジで行い、フランジ面のシールはOリングを必ず使用する。真空用ゴムホースを使用する場合は、ホース金具につないだあと、ホースバンドで締結すればリークすることはほとんどない。ただし、ゴムホースは長期間使用するとゴムの劣化によりホース自体にクラックが発生してリークの原因となるので注意を要する。■表2真空ポンプオイル劣化の原因と対策:症状は排気速度低下、到達圧力不足となります原因1粉塵吸入対策1・ダストトラップ(吸入口側ダクト)・オイルフィルターによる浄化(ポンプオイルを循環)油回転ポンプ2水分、水蒸気吸入2・水冷トラップによる粗吸着・油水分離装置でのオイル浄化油拡散ポンプ3溶剤蒸気の吸入3・コールドトラップによる溶剤蒸気の吸着※11水分、溶剤蒸気の吸入2高温での大気導入3低真空での運転4冷却水不足(空焚き)5ヒーター取付不良1吸入口に水冷、又はコールドトラップ2、3吸入圧により主弁:開をインターロック4冷却水量検出でインターロック5ヒーター過昇温検出でインターロック※1:溶剤蒸気の蒸気圧特性により吸着できないケースもあるex)トラップ温度:-25℃の時アセトン、エタノール、トルエン等は吸着しない(2)真空ポンプのメンテナンス真空ポンプを長期間使用すると、ドライポンプではベアリング寿命など、油回転ポンプではオイル劣化などが生じて排気性能に影響を及ぼす。表2に代表的な例と対策法を示す。油回転ポンプ、油拡散ポンプのオイル劣化は、排気速度低下や到達圧力不足などの症状になって表れる。ドライポンプ、ターボ分子ポンプでは、ローターが高速回転しているため、ベアリングの寿命時間に近づくと、異常音とか異常振動となって症状が出てくるので注意していればローター破損という最悪の事態は免れる。通常はメーカーによる定期メンテ時間が明示されている。クライオポンプも同様にHeコンプレッサーの定期メンテ時間がメーカーによって決められている。5.まとめ真空装置(真空容器、排気系、自動制御)のトラブルの大半は排気系、特に真空ポンプ本体で発生する。真空処理を行う過程で発生するガス、粉塵がポンプの排気性能を左右するのでこれらの発生ガスをポンプ周辺機器で除去すれば、真空ポンプのメンテサイクルを長くすることが可能となる。佐藤真空㈱ではオイル浄化装置等周辺機器をラインアップしてユーザーのご要求に対応できる体制を整えています。本資料が、真空排気ユニットを構成する上でユーザーの方々の一助となれば幸いです。参考資料(1)真空用語事典㈱工業調査会2001(2)真空技術実務読本㈱オーム社1994(3)真空技術ハンドブック日刊工業新聞社1990(4)プラズマ半導体プロセス工学㈱内田老鶴圃2003(5)真空Vol.29, No.5, P52日本真空協会198686