ブックタイトル佐藤真空規格品2017

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概要

佐藤真空規格品2017

真空ポンプ用部品Accessories for Vacuum PumpsダストフィルターVSRCシリーズDust Filter真空ポンプ保護用のフィルターです。ポンプ内に入り込む粒子、ゴミ、ミスト等を捕捉、低減させます。ステンレス製のエレメントの採用により腐食に強く、100μm以上のダストを捕捉します。A filter for the protection of the vacuum pump. Collects and reduces particles, dust, mist, etc.,entering the vacuum pump. Corrosion resistant stainless steel elements collect dust particleslarger than 100 micrometers.型式Modelエレメント(SUS)Element寸法(mm)Dimensions最大流量L/min接続口JointVSRC-250-15MM-SVSR-250-Sφ63.5×面間162.0100φ15パイプVSRC-300-QF25-SVSR-300-Sφ76.2×面間175.3150NW25VSRC-400-QF25-SVSR-400-Sφ101.6×面間177.8300NW25VSRC-600-QF25-SVSR-600-Sφ152.4×面間238.8800NW25フォアライントラップVSMI-450-QF25-120 Fore Line Trap高真空中でチャンバー内への油の逆拡散を防止するためのトラップです。モレキュラシーブ13X(合成ゼオライト)を採用、多数の分子サイズの空孔が大量の水蒸気、油蒸気を吸着します。さらに内蔵ヒーターによりエレメントの加熱再生が可能です。A trap used to prevent the back-diffusion of oil into the vacuum chamber under high vacuum.A 13X molecular sieve (synthesized zeolite) is used and a large amount of water vapor and oilvapor are adsorbed by innumerable pores of molecular size. Regeneration of the element can bemade using the built-in heater.型式ModelエレメントElement寸法(mm)Dimensions最大流量L/min接続口JointVSMI-450-QF25-120モレキュラシーブ13Xφ114.3×H133.4×面間177.8 650 NW25*スイッチ付き電源コード付属(AC100~120V)*A power cable with a switch is attached.液体窒素コールドトラップCT-LN2シリーズLN2 Cold Trap真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。A trap used to prevent the back-diffusion of the oil mist from the vacuum pump generated in thevacuum exhaust line, and in the case of an ultra-high vacuum line, the trap effectively improvesthe ultimate pressure adsorbing moisture, etc. It is widely used for diffusion pumping system,vacuum evaporating equipment, etc.型式Model装置側System side接続Jointポンプ側Pump side寸法(mm)DimensionsLN2容量CapacityCT-N25F25L-LN2NW25VF25CT-N25F50L-LN2NW25VF50CT-N25N40L-LN2CT-N40F25L-LN2NW25NW40NW40VF25φ160×H208500ccCT-N40F50L-LN2NW40VF50CT-N40N40L-LN2NW40NW4059