ブックタイトル佐藤真空規格品2017

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概要

佐藤真空規格品2017

真空計Vacuum Gauges主な真空計の動作圧力範囲圧力[Pa]10 ?12 10 ?11 10 ?10 10 ?910 ?8 10 ?7 10 ?6 10 ?5 10 ?4 10 ?3 10 ?2 10 ?111010 210 310 410 5国家1次標準1.3×10 ?2 Pa1.3 Pa標準マクラウド10 ?4 Pa真空計(2%)10 2 Pa1333 Pa大気圧光波干渉式標準気圧計(0.7Pa)2次標準U字管真空計マクラウド真空計ブルドン管真空計隔膜真空計ピラニ真空計熱電対真空計スピニングロータ真空計ペニング真空計シュルツ真空計三極管形電離真空計B-A真空計エキストラクタ真空計分圧真空計膨張法1.3×10 ?4 Pa 0.2 Pa副標準電離真空計VS-1A(3%)気象庁標準気圧計など(7Pa)*圧力区分極高真空超高真空高真空中真空低真空10 ?8 10 ?510 ?110 21.013×10 5通常の使用範囲特別なタイプや注意で使える範囲2次電子増倍管付*複数の測定子を組み合わせて使用した場合。/標準器の()内の数値は不確かさ。真空計の選び方真空計が使用される条件は様々です。選定にあたっては測定圧力領域、対象ガスの他にも、以下のような各項目の確認が必要です。1.測定をおこないたい圧力領域で使えるか、可測限界の起る原因を確認する。2.測定対象に考えられる気体によって真空計が汚損、破損しないか。3.精度は充分にあるか。メーターは大きいか。原理的にも問題がないか。4.真空計が気体の状態に影響を与えないか。測定対象の気体を熱分解したり、反応によって組成を変えたりすることはないか。5.全圧測定ができるか。感度が気体の種類によって異ならないか。6.連続指示か、電気的指示か。電気的出力が得られるか。7.応答時間は短いか。8.安定性、再現性、信頼性、寿命は十分か。9.取付、操作、保守、管理は容易か。10.市販品の有無、入手の難易、価格等。Selecting a Vacuum GaugeSince the operating conditions for vacuum gauges ranges so widely, consider the followingitems when selecting a vacuum gauge, in addition to pressure range and the kind of gas.1. Does the gauge cover the measuring pressure range? Is there any possibility that pressurewill exceed the measuring range?2. Will gas contaminate or damage the gauge?3. Are accuracy and capacity sufficient? Does the gauge, in principle, meet the requirements?4. Does the gauge influence the condition of gas? Is there any possibility that the gauge willproduce thermal decomposition or chemical reactions, changing gas composition?5. Is it possible to measure total pressure? Does sensitivity depend on the kind of gas?6. Continuous indications? Electrical indications? Is the gauge capable of producing electricaloutput?7. How fast is response?8. Are stability, reproducibility, reliability, and durability all satisfactory?9. Is it easy to install, operate, maintain, and control?10. Availability in the market, price, etc.44