ブックタイトル佐藤真空規格品2017

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概要

佐藤真空規格品2017

真空計Vacuum Gauges特長当社の真空計シリーズは、大気圧から高真空領域まで(101kPa ? 1×10 ?7 Pa)をカバーする豊富な機種をラインアップしており、また各アイテムごとにデジタルタイプ・アナログタイプを用意し、仕様、環境、使い勝手などに合った最適の機種を選択いただけます。FeaturesOur vacuum gauge line offers a number of models, covering the range from atmosphericpressure to a very high vacuum (101kPa ? 1×10 ?7 Pa). Digital and analog types are availablefor each item, allowing customers to select the best instrument for particular specifications,environment, handling, and so on.真空度標準とトレーサビリティー日本の真空度標準(一次標準)は、産業技術総合研究所の計量標準総合センターに設置してある光波干渉式標準気圧計(大気圧~10 2 Pa、不確かさ±0.7Pa)、及び標準マクラウド真空計(1.3~1.3×10 -2 Pa、不確かさ±2%)が基準になっています。標準マクラウド真空計による校正は、日本真空協会から依頼された副標準電離真空計用球VS-1について実施されており、この校正された真空計は2次標準(使用圧力範囲2.7×10 ?1 ? 1.3×10 ?4 Pa、不確かさ±3%)と呼ばれ利用可能な最も信頼できる真空計です。通常はこれを標準として用い、他の実用真空計の校正に用います。校正法については、JISZ8750に詳しく説明され、10 ?2 Pa ? 10 ?7 Pa付近までの用途には、メーカーがVS-1を用いて校正したB-A真空計を市販しています。このような方法で感度を校正すれば、実際に用いる個々の真空計の感度は、国家1次標準までつながることになります。このような体系ができているとき、トレーサビリティーが確立されていると評価されます。Vacuum Standard and TraceabilityThe Japanese standard for vacuum (primarystandard) is based on the optical interactionstandard barometer (atmospheric pressureto 10 2 Pa, uncertainty±0.7Pa), and thestandard McLeod gauge (1.3 - 1.3×10 -2 Pa,uncertainty±2%), kept at National MetrologyInstitute of Japan in National Institute ofAdvanced Industrial Science and Technology.The most reliable vacuum standard availableto the public is the secondary standard(pressure range: 2.7 x 10 ?1 -1.3 x 10 ?4 Pa,uncertainty±3%), which uses the VS-1ionization vacuum gauge bulb. This bulb iscalibrated against the Standard McLeodgauge, at the request of The Vacuum Societyof Japan. This secondary standard is generallyused for calibration of vacuum gauges.Detailsof the calibration procedure are described inJISZ8750. For the pressure range from10 ?2 Pa to 10 ?7 Pa, B-A vacuum gaugescalibrated against the VS-1 by manufacturersare available. This calibration compares theaccuracy of each vacuum gauge we use tothe national primary standard. When sucha system is complete, traceability is consideredestablished.真空度校正装置RT-8SV型DKD Calibration & calibration system※各種真空度校正装置の製作も承っております。43